| 发明名称 | 真空紫外光谱检测装置 | ||
| 摘要 | 真空紫外光谱检测装置属于光谱分析领域。该装置包括：入口狭缝(2)，凹面光栅(3)，光纤阵列(4)和平板检测器(5)。入口狭缝(2)和凹面光栅(3)安装于真空腔体(1)之中，光纤阵列(4)的一个端面与由入口狭缝(2)和凹面光栅(3)所决定的罗兰圆面重合。光纤阵列(4)的该端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，子光纤阵列的端面为平面并分别与一个平板检测器(5)相连接。本装置有同时测量一定波长范围内真空紫外光谱的能力，并达到掠入射光栅真空紫外光谱仪的光谱和像素分辨率，检测的时间响应好且有很高的灵敏度；真空腔体内无需可移动部件，结构简单可靠。 | ||
| 申请公布号 | CN101256144A | 申请公布日期 | 2008.09.03 |
| 申请号 | CN200810102876.1 | 申请日期 | 2008.03.28 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 谭熠;蒲以康 |
| 分类号 | G01N21/67(2006.01);G01J3/20(2006.01);G01J3/36(2006.01) | 主分类号 | G01N21/67(2006.01) |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘萍 |
| 主权项 | 1、一种真空紫外光谱检测装置，其特征在于，依次包括：入口狭缝(2)，凹面光栅(3)，光纤阵列(4)和平板检测器(5)；入口狭缝(2)和凹面光栅(3)安装于真空腔体(1)之中，光纤阵列(4)的一个端面与由入口狭缝(2)和凹面光栅(3)所决定的罗兰圆面重合，光纤阵列(4)的该端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，这些子光纤阵列的端面都为平面并分别与一个平板检测器(5)相连接；光纤阵列(4)与真空腔体(1)真空密封连接。 | ||
| 地址 | 100084北京市海淀区清华园 | ||