微细图案的形成方法

摘要

【课题】本发明系提供一种微细图案的形成方法，其藉由对光阻图案施以特定的加热处理而使光阻图案的间隔缩小化，而能使图案尺寸的控制性优良，同时具备良好的轮廓，且相较于知的图案微细化方法可增大其缩小量。【解决手段】一种微细图案的形成方法，其包含将被膜形成用组成物涂布于具有光阻图案之基板上，以形成被膜之被膜形成步骤；将此被膜进行加热处理之第一加热处理步骤；除去此第一加热处理步骤后的被膜之被膜除去步骤；以及将此被膜除去步骤后的缩小后的图案，进行加热处理之第二加热处理步骤。