| 摘要 |
本发明有关式(L#sB!1#eB!)#sB!x#eB!M(L#sB!2#eB!)#sB!y#eB!所示之有机金属化合物类，其中M为金属或类金属，L#sB!1#eB!及L#sB!2#eB!为不同且各自为烃基或含杂原子的基团；x为至少1的值；y为至少1的值；x+y等于M的氧化态；且其中(i)L#sB!1#eB!具有够大的立体部位使得，由于立体阻碍，x不可为等于M的氧化态之值，(ii)L#sB!2#eB!具有够小的立体部位使得，由于缺乏立体阻碍，y仅于x不为至少1的值之情形下方可为等于M的氧化态之值，及(iii)L#sB!1#eB!及L#sB!2#eB!具有足以维持带有多类型配体结构之立体部位，其中x+y等于M的氧化态；用于制造该等有机金属化合物类之方法，及用于制造有机金属前驱物化合物类的膜或涂层之方法。 |
