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发明名称
摘要
申请公布号 JP4140768(B2) 申请公布日期 2008.08.27
申请号 JP20030119155 申请日期 2003.04.24
申请人 发明人
分类号 C23C16/40;H01L21/316;C23C16/42;C23C16/448;C23C16/452;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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