发明名称 一种有机电致发光显示器掩膜板的制作方法
摘要 本发明公开了一种有机电致发光显示器掩膜板的制作方法,取一张导磁薄钢片,利用不锈钢刻蚀或者激光切割在薄钢片上开孔以形成图案;将丝网平铺在已有图案的薄钢片上,并在薄钢片的边缘涂上拉丝网用的胶水,再去除薄钢片图案区域的丝网,然后将丝网拉伸;取一框体,将其贴在拉伸丝网上形成网框,粘接稳固后,沿网框的外缘裁下;将另一块导磁钢板切割成所需的掩膜板外框,然后把掩膜板外框和网框中的导磁薄钢片连接在一起,再割开丝网,网框脱落,最后沿掩膜板外框的外缘切去多余钢片,完成掩膜板的制作。本发明利用丝网拉伸薄钢片,降低了制造成本且简化了工艺流程,网框与外框的连接更为稳固,操作也相对更加简单,精度得到很大提高。
申请公布号 CN101250685A 申请公布日期 2008.08.27
申请号 CN200810026445.1 申请日期 2008.02.25
申请人 信利半导体有限公司 发明人 柯贤军;苏君海;谢志生
分类号 C23C14/04(2006.01);C23C14/24(2006.01) 主分类号 C23C14/04(2006.01)
代理机构 广州知友专利商标代理有限公司 代理人 宣国华
主权项 1、一种有机电致发光显示器掩膜板的制作方法,其特征在于包括以下步骤:(1)取一张导磁薄钢片,剪裁成所需的大小和形状,利用不锈钢刻蚀或者通过激光切割在薄钢片上开孔以形成图案,该图案按照OLED设计要求形状制作;(2)将面积大于薄钢片的丝网平铺在刻有图案的导磁薄钢片上,在导磁薄钢片的边缘涂上拉丝网用的胶水,再去除导磁薄钢片图案区域的丝网,然后将固定在导磁薄钢片边缘上的丝网进行拉伸,导磁薄钢片也被拉伸绷紧;(3)取一框体,将其贴在拉伸丝网上形成网框,粘接稳固后,沿网框的外缘裁下;(4)取另一块导磁钢板切割成所需的掩膜板外框,然后把掩膜板外框置于导磁薄钢片图案开孔区域的外围,再将该掩膜板外框与开孔区域外围的导磁薄钢片连接固定在一起,割开丝网,网框脱落,最后沿掩膜板外框的外缘切去多余钢片,完成掩膜板的制作。
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