摘要 |
いくつかの新規な特徴は、第1のコア層と、基板内の第1のコア層に対して横方向に配置された第2のコア層と、第1のコア層と第2のコア層との間に横方向に配置された第1の無機コア層(例えば、ガラス、シリコン、セラミック)とを含む基板であって、第1の無機コア層が基板に結合されるように構成されたダイと垂直に整列されるように構成され、誘電体層が、第1のコア層と、第2のコア層と、第1の無機コア層とを覆う、基板に関係する。いくつかの実施態様では、第1の無機コア層は、第1の熱膨張係数(CTE)を有し、ダイは、第2の熱膨張係数を有し、第1のコア層は、第3の熱膨張係数(CTE)を有する。第1の無機コア層の第1のCTEは、反りの可能性を低減するために、ダイの第2のCTEと密接に一致する。 |