| 发明名称 |
热管制造方法 |
| 摘要 |
一种热管的制造方法，包括以下步骤：提供一基片，在该基片表面形成一氧化层；在该氧化层表面附着一光刻胶层；通过微机电制造技术在光刻胶层上形成通道；将通道的开口端封口；在光刻胶层表面覆盖一层高分子聚合物，形成热管的外壳；在外壳及光刻胶层上开设一供工作流体进入的孔口；由孔口向通道内充液；封孔。由该制造方法而得的热管所占空间小，可满足发热电子元件体积日趋变小的情况；热管管壁具有可挠性，能随意弯曲与发热电子元件一端接触，安装灵活不受发热电子元件空间限制。 |
| 申请公布号 |
CN100413062C |
申请公布日期 |
2008.08.20 |
| 申请号 |
CN200410028014.0 |
申请日期 |
2004.07.06 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
沈志华 |
| 分类号 |
H01L23/427(2006.01);H05K7/20(2006.01);G06F1/20(2006.01);F28D15/02(2006.01);B81B5/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/427(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1. 一种热管制造方法，包括以下步骤：(1)提供一基片，在该基片表面形成一氧化层；(2)在该氧化层表面附着一光刻胶层；(3)通过微机电制造技术在光刻胶层上形成通道；(4)将通道的开口端封口；(5)在光刻胶层表面覆盖一层高分子聚合物，形成热管的外壳；(6)在外壳及光刻胶层上开设一供工作流体进入的孔口；(7)由孔口向通道内充液；(8)封孔。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
