| 摘要 |
[课题]将高感度之光感测元件与感测器驱动电路，仅使用多结晶材料，而在绝缘性基板上使用平板制程(planer process)来形成。[解决手段]藉由多结晶矽膜来制作光感测元件与感测器驱动电路之两者，作为光感测元件，系利用具备有被形成在绝缘性基板10上之第1电极11和受光区域14以及第2电极12和被形成在受光区域147上之第3电极13的TFT，而形成光电晶体，在第3电极13下之两侧的区域15以及16处，又或是单侧之区域15又或是16处，设置接近于本质层之不纯物层(活性化不纯物浓度为10#sP!17#eP!㎝#sP!-3#eP!以下)。 |
