形成具高介电常数之结构之方法、具高介电常数之结构、包含该结构之电容器及形成该电容器之方法

摘要

本发明揭示一种形成一诸如层之介电结构之方法。该方法包括自一高k材料之复数个部分形成一高k结构。该高k材料之该复数个部分中之每一者系藉由沈积该高k材料之复数个单层及退火该高k材料而形成。该高k材料可为一钙钛矿型材料，其包含(但不限于)钛酸锶。亦揭示一介电结构、一并入一介电结构之电容器及一形成一电容器之方法。