| 摘要 |
在加工对象物的内部缩短形成改质区域所需的时间。装置100，具备：载放台107；射出直线偏光的雷射光L的光线101；射出雷射光L3的光源41；变更雷射光L的偏光方向的波长板51；将雷射光L分支成偏光方向为X轴向的雷射光L1及偏光方向为Y轴向的雷射光L2的偏光板52；以分支后的雷射光L2的偏光方向为X轴向的波长板55；将雷射光L1、L3聚光的透镜31；沿着X轴向与透镜31并排设置将以X轴向为偏光方向的雷射光L2聚光的透镜32；检测出反射光L4使雷射光L2的聚光点以表面3为基准控制对焦预定位置的元件29的控制部105；及使得X轴向与线5大致一致载放台107沿着线5移动的控制部115。 |
