自动化连续曝光系统

摘要

一种自动化连续曝光系统，用以对于一基材曝光，该基材置放于一表面上，且光线透过一底片光罩的遮罩，使该基材的一曝光面显影，该自动化连续曝光系统包含一曝光室、一线性光源及一控制装置；该线性光源设置于该曝光室中，用以发出一与该曝光面平行之线性光；该控制装置控制该基材与该线性光源呈相对移动。由于是采用线性光源，因此不需每次对位而可连续曝光。