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发明名称
在太阳电池基板上进行电镀的方法与设备
摘要
本发明实施方式利用一新颖的方法和设备来形成低价太阳能电池用的金属接点结构,其具有多条以电化学电镀法所形成的金属线。所述的方法和设备不须实施高温网印制程也能在太阳能电池基板上形成导电特征。形成在一太阳能电池装置中的内连线电阻会大幅影响太阳能电池的效率。因此,需要形成具有可靠低电阻内连层且价格经济实惠的太阳能装置。因此,本发明一或多实施方式适以利用一种内含常见金属(即,铜)的电化学电镀方法来形成一低价、可靠的内连层。
申请公布号
TW200834951
申请公布日期
2008.08.16
申请号
TW096145697
申请日期
2007.11.30
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
罗巴廷舍杰;柯华斯基尼可雷Y;英格利珊大卫;杜可维克约翰O;盖查理斯
分类号
H01L31/18(2006.01)
主分类号
H01L31/18(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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