基板处理装置

摘要

本发明提供一种进一步提高基板之生产率之基板处理装置。基板处理装置10中，一面搬送基板S一面实施处理之第1~第3的三个处理部12~14连结成「　」字形。第1处理部12一面以水平姿势搬送基板S，一面藉由药液实施搅拌处理。第2处理部13包括姿势变换机构34与搬送辊33等，该姿势变换机构34自第1处理部12以水平姿势接受基板，并使该基板S于与第1处理部12之搬送方向正交之方向上倾斜；上述搬送辊33于维持藉此变换后之基板S之姿势同时，沿倾斜度搬送该基板S。