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经营范围
发明名称
A Load Port Direct-Coupled to Loadlock Chamber
摘要
申请公布号
KR100852468(B1)
申请公布日期
2008.08.14
申请号
KR20070005121
申请日期
2007.01.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/677;H01L21/02
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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