发明名称 A Load Port Direct-Coupled to Loadlock Chamber
摘要
申请公布号 KR100852468(B1) 申请公布日期 2008.08.14
申请号 KR20070005121 申请日期 2007.01.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址