Piezokeramischer Vielschichtaktor und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Die vorliegende Erfindung offenbart verschiedene Herstellungsverfahren zur Herstellung eines piezokeramischen Vielschichtaktors. Im Rahmen der Herstellungsverfahren werden Vielschicht-Riegel 10 elektrochemisch oder mechanisch derart bearbeitet, dass sich eine Senken-Struktur ergibt. Die Seitenflächen 22; 24 der Elektroden 20 innerhalb dieser Senkenisoliert, um durch Aufdrucken einer Außenmetallisierung die übrigen Elektroden kontaktieren zu können.