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发明名称 MULTIPLE COIL ANTENNA FOR INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP1092229(B1) 申请公布日期 2008.08.13
申请号 EP19990933499 申请日期 1999.06.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 CHEN, JIAN, J.;VELTROP, ROBERT, G.;WICKER, THOMAS, E.
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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