| 发明名称 | 薄膜晶体管及其制法、以及使用该薄膜晶体管的显示装置 | ||
| 摘要 | 在具有使用半导体膜的薄膜晶体管的显示装置中，得到初始故障较少并且能够进行薄膜晶体管的小型化引起的高精细的显示的显示装置。在多晶半导体膜(4)的上层隔着栅极绝缘膜(5)形成栅电极(6)的薄膜晶体管中，多晶半导体膜(4)和栅电极(6)交叉的区域的多晶半导体膜(4)的图形端部剖面的锥角θ2形成得比其以外的区域的锥角度θ1低。 | ||
| 申请公布号 | CN101236993A | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200810009260.X | 申请日期 | 2008.01.31 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 竹口彻 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01);H01L29/06(2006.01);H01L21/336(2006.01) | 主分类号 | H01L29/786(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王岳;刘宗杰 |
| 主权项 | 1.一种薄膜晶体管，具有：形成在绝缘性衬底上的第一导电层；形成在所述第一导电层上的绝缘膜；第二导电层，形成在所述绝缘膜上，具有隔着所述绝缘膜与所述第一导电层交叉的区域，其特征在于，所述第一导电层至少具有两种锥角。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||