微波陶瓷元器件制作的激光微调刻蚀方法

摘要

微波陶瓷元器件制作的激光微调刻蚀方法，涉及一种微波介质陶瓷元器件。提供一种可微细调节，具有速度快、成本低、效率高、可连续监控等优点的微波陶瓷元器件制作的激光微调刻蚀方法。用网络分析仪测试出微波陶瓷的微波介电性能，打开激光仪，选择微调刻蚀的形状和大小，设置加工参数，如速度、电流、频率、加工方式、加工次数；将激光束对准待刻蚀的微波陶瓷，聚焦，微调刻蚀；用网络分析仪测试经过微调刻蚀的微波陶瓷的微波介电性能，观察并比较微调刻蚀前后的微波陶瓷的谐振频率f_c、品质因子Q值等，根据预先设定的微波陶瓷的微波介电性能参数，判断是否需继续微调刻蚀，若需要，重复上述步骤，至达到预先设定的微波陶瓷的微波介电性能参数。

主权项

1.微波陶瓷元器件制作的激光微调刻蚀方法，其特征在于包括以下步骤：1)用网络分析仪测试出微波陶瓷的微波介电性能参数；2)打开激光仪，选择微调刻蚀的形状和大小，并设置好有关加工参数；3)将激光仪的激光束对准待刻蚀的微波陶瓷，聚焦完毕后，即可微调刻蚀；4)用网络分析仪测试经过微调刻蚀的微波陶瓷的微波介电性能参数；5)观察并比较微调刻蚀前后的微波陶瓷的微波介电性能参数数据，根据预先设定的微波陶瓷的微波介电性能参数，判断是否需要继续微调刻蚀，若需要继续微调刻蚀，重复步骤2～5，至达到预先设定的微波陶瓷的微波介电性能参数。