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发明名称 METHOD OF FORMING MULTI-HEIGHT FINFETS
摘要
申请公布号 EP1620891(B1) 申请公布日期 2008.08.06
申请号 EP20040707026 申请日期 2004.01.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 RAINEY, BETH, ANN;NOWAK, EDWARD, J.;ALLER, INGO, DR.;KEINERT, JOACHIM;LUDWIG, THOMAS
分类号 H01L21/84;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/12;H01L29/04;H01L29/786 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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