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发明名称
Apparatus for providing a pattern of polarization
摘要
申请公布号
EP1600816(B1)
申请公布日期
2008.08.06
申请号
EP20050010989
申请日期
2005.05.20
申请人
ASML HOLDINGS N.V.
发明人
ALBERT, MICHAEL A.
分类号
G03F7/20;G02B5/30;G02B27/28
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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