塔式反应装置锡花为原料生产微电子用甲基磺酸亚锡

摘要

本发明提供一种微电子用甲基磺酸亚锡生产新工艺，其特征在于全部生产过程在塔式反应装置内完成，实现了连续、快速、密闭的生产过程。以锡花为原料，成本降到最低。获得产品超净高纯品质优越，完全满足微电子使用要求。

主权项

1. 一种生产微电子用甲基磺酸亚锡的生产新工艺，其特征采用塔式反应装置，锡花与甲基磺酸在塔式反应器里进行置换反应并在塔式反应装置内完成全部生产过程。获得超净高纯品质优越的产品，完全满足微电子使用要求。