用于蒸发器体的初始润湿辅助材料

摘要

初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式。所述初始润湿辅助材料包含铝，所述铝在蒸发器体(1)开始运行之后在蒸发器表面上熔化，并且在熔融状态下与所述蒸发器体(1)中的氮反应，由此在蒸发器表面上形成氮化铝层。所述初始润湿辅助材料还包含润湿剂，通过所述润湿剂有助于熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。

主权项

1.一种初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式，所述辅助材料包含干燥或悬浮形式的块体形式和/或层状材料和/或粉末材料的形式的至少两种材料成分：所述至少两种材料成分包含：作为第一材料成分的铝，条件是：所述铝在所述蒸发器体(1)开始运行之后在所述蒸发器体加热过程中，在所述蒸发器表面上可熔并且能够在熔融状态与所述蒸发器体(1)中的所述氮反应，由此在所述蒸发器表面上形成氮化铝层，以及作为第二材料成分的润湿剂，条件是：所述润湿剂能够促使所述熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。