发明名称 |
用于容纳微机械系统的装置和方法 |
摘要 |
一种用于容纳微机械系统(100)的装置,包括:具有表面(104)的衬底(102),微机械系统(100)形成在衬底(102)的表面(104)上;透明盖(110);和干膜层布置(120),所述干膜层布置(120)位于衬底(102)的表面(104)与透明盖(110)之间。所述干膜层布置(120)包括开口(130),从而使得微机械系统(100)邻近开口。 |
申请公布号 |
CN101234746A |
申请公布日期 |
2008.08.06 |
申请号 |
CN200810002282.3 |
申请日期 |
2008.01.08 |
申请人 |
弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
发明人 |
索·巴克;蒂洛·桑德 |
分类号 |
B81C3/00(2006.01);H01L23/02(2006.01);H01L23/06(2006.01);B81B7/02(2006.01) |
主分类号 |
B81C3/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
王新华 |
主权项 |
1.一种用于容纳微机械或微光电系统(100)的装置,包括:具有表面(104)的衬底(102),微机械系统(100)形成在衬底(102)的表面(104)上;透明盖(110);和干膜层布置(120),所述干膜层布置(120)位于衬底(102)的表面(104)与透明盖(110)之间,其中所述干膜层布置(120)包括开口,从而使得微机械系统(100)邻近开口。 |
地址 |
德国慕尼黑 |