发明名称 洗净系统及洗净方法
摘要 本发明系关于一种洗净系统,其包括:硫酸电解部分,其经安装用于电解硫酸溶液以在阳极室中产生氧化性物质;浓硫酸供应部分,其经安装用于将浓硫酸溶液供应至该阳极室;及洗净处理部分,其经安装用于使用包含该氧化性物质之氧化性溶液对欲洗净对象实施洗净处理。该硫酸电解部分具有阳极、阴极、设置于该阳极与该阴极间之隔膜、界定在该阳极与该隔膜间之阳极室及界定在该阴极与该隔膜间之阴极室。
申请公布号 TW200831712 申请公布日期 2008.08.01
申请号 TW096121452 申请日期 2007.06.14
申请人 东芝股份有限公司;氯工程公司 发明人 速水直哉;柴田幸弘;加藤昌明;福井博之
分类号 C25B1/30(2006.01);C25B1/22(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 C25B1/30(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本