奈米碳管接触结构

摘要

一奈米碳管接触结构能被用于与一DUT造成压力连接。能使用一奈米碳管薄膜或与溶液中之奈米碳管形成该接触结构。该奈米碳管薄膜能够在一牺牲基板中之沟槽中生长，其中一接触结构、诸如一横柱或接触元件系接着藉由金属电镀所形成。该薄膜亦可形成在一接触元件上，且具有散布在其中金属柱塞，以提供硬度及弹性。接触结构或其各部份亦能以一包含奈米碳管之溶液电镀。该结果之接触结构可为坚硬的，并能提供良好之导电性。