| 摘要 |
一种在基材上沉积金属矽氮化物的方法包括：将金属胺化物吸附在热的基材上，吹扫走未吸附的金属胺化物，将具有一个或更多Si-H#sB!3#eB!片段的含矽源和热的基材接触以和吸附的金属胺化物反应，其中的含矽源具有一个或更多的H#sB!3#eB!Si-NR#sP!0#eP!#sB!2#eB!(R#sP!0#eP!=SiH#sB!3#eB!、R、R#sP!1#eP!或R#sP!2#eP!，下面定义的)基团，这些基团选自于一个或多个的：#P 096147308P01.bmp其中，式中的R和R#sP!1#eP!代表脂族基团、典型地具有从2到约10个碳原子，例如支链烷基，在分子式A中带有R和R#sP!1#eP!的环烷基也可被结合到环状基团中，和R#sP!2#eP!代表单键、(CH#sB!2#eB!)#sB!n#eB!、环，或SiH#sB!2#eB!，和吹扫走未反应的含矽源。 |
