摘要 |
一种于制造基板时用以储放物件之储存装置,尤指电子零组件用基板,其设有一外壳,该外壳为储放物件提供至少一封闭空间。该储存装置中又设有洁净空气设备,其可至少于外壳中一部份区域内产生洁净空气环境。该储存装置利用至少一组置入/取出装置可将物件送入外壳内部或自外壳内部取出,其中于储存装置外壳之内部可利用至少一套操控装置操控该物件,且于外壳内部设有物件接纳处,可将物件自输送容器中取出而暂置于其中。为使该种储存装置不但具高储量还能维持最小占地面积,因此于同一储存装置外壳内设置两个至少部份叠置之区块,其中第一区块中设置一套物件储放装置,而第二区块中设置一套输送容器储放装置。 |