几何像差与空间电荷效应经减低之映射型电子显微镜

摘要

本发明提供一种于投影成像光学系统中使用可变焦距型传输透镜系统，以改善低倍率成像的几何像差与可变焦距范围内的空间电荷效应之映射型电子显微镜。具备有放射出用以照射试料的一次电子射束之照射系统以及用以将从试料放射出的二次电子射束引导至检测系统之投影成像光学系统24之映射型电子显微镜的投影成像光学系统24系具备：具有第一可变焦距透镜6a与第二可变焦距透镜6b之传输透镜系统24b。第一可变焦距透镜6a系具备有复数个电极，藉由将复数个电极中的预定电极加厚，并对于该电极施加正电压，而于第一可变焦距透镜6a与第二可变焦距透镜6b间形成电场强度为零且具有高的正电位之空间10，并在可变焦距范围内于空间10设置由第一可变焦距透镜6a所产生的越渡点(crossover)C2。