发明名称 | 一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法,在150A~250A的电弧电流下,向沉积反应室内通入氩气Ar、氢气H<SUB>2</SUB>和甲烷CH<SUB>4</SUB>三种气体,反应气体CH<SUB>4</SUB>在电弧的作用下产生碳C自由基,在一定的温度条件下碳C自由基在切削工具基体表面转换成金刚石晶粒。通常的金刚石涂层晶粒较为粗大(4~10μm),本发明通过控制沉积反应室内的温度(600℃~1000℃)、工作压力(0.9mbar~2mbar)、气体流量、沉积时间(3~30h)等工艺参数,从而控制金刚石晶粒生长,得到大约为0.3~1μm晶粒细小的金刚石涂层,从而使得涂有该金刚石涂层的切削工具性能更佳、加工寿命更长。 | ||
申请公布号 | CN101230453A | 申请公布日期 | 2008.07.30 |
申请号 | CN200710009250.1 | 申请日期 | 2007.07.19 |
申请人 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 发明人 | 刘浩;王春芳;吴高潮;陈金铃 |
分类号 | C23C16/27(2006.01) | 主分类号 | C23C16/27(2006.01) |
代理机构 | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人 | 张松亭;连耀忠 |
主权项 | 1.一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法,其特征在于:它包括如下步骤:a.将切削工具基体装入沉积反应室内;b.将沉积反应室抽成真空状态;c.在沉积反应室内形成磁场;d.向安装在沉积反应室内的阴极、阳极之间施加高电流直流电弧以及向沉积反应室内通入氩气Ar、氢气H2和甲烷CH4三种气体;其中,施加的电弧电流为150A~250A;通入的甲烷CH4/氢气H2的比例为0.5~10%;通入的氩气Ar流量为2000~4000sccm;e.在沉积反应室中,气体CH4在电弧的作用下会产生碳C自由基,在一定的温度条件下碳C自由基沉积到切削工具基体表面转换成多晶金刚石薄膜;其中,沉积反应室内的温度为600℃~1000℃;工作压力为0.9mbar~2mbar;沉积时间为3~30h。 | ||
地址 | 361006福建省厦门市湖里区兴隆路69号 |