标准封装应用中高可靠性的坚固Ⅲ族发光二极管

摘要

本发明公开了一种物理上坚固的发光二极管，其在标准封装中提供高可靠性，并能够耐受高温和高湿度条件。该二极管包括III族氮化物异质结二极管，其具有p型III族氮化物接触层、与该p型接触层的欧姆接触和该欧姆接触上的溅射沉积氮化硅成分钝化层。本发明还公开了一种制造发光二极管和具有该二极管的LED灯的方法。

主权项

1.一种垂直发光二极管，包括：n型碳化硅衬底；在所述衬底上的镍欧姆接触；和位于所述衬底上的缓冲结构，用于支持一个有源区域，III族氮化物有源区域，其位于所述的缓冲结构上并从如下的组中选择：单异质结构、双异质结构、单量子阱和多量子阱；在所述有源区域上的p型III族氮化物接触层，其传输所述有源区域中产生的光；在所述p型接触层上的金属接触，其足够地薄而对通过所述接触层传输的光半透明；和在所述金属接触上的光透射的、溅射沉积的非化学计量学氮化硅成分钝化层。