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发明名称 Tool for Heater Position Setting of CVD and Heater Position Setting Method
摘要
申请公布号 KR100849364(B1) 申请公布日期 2008.07.29
申请号 KR20030080980 申请日期 2003.11.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/46 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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