| 发明名称 |
Vorrichtung zur Modifizierung von Substratoberflächen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE202008006477(U1) |
申请公布日期 |
2008.07.24 |
| 申请号 |
DE200820006477U |
申请日期 |
2008.05.06 |
| 申请人 |
FORSCHUNGS- UND APPLIKATIONSLABOR PLASMATECHNIK GMBH DRESDEN |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/505;C23C14/56;C23C16/455;C23C16/54;C23F4/04 |
主分类号 |
C23C16/505 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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