折射元件的清洁方法和用于近场光学系统的光学扫描设备

摘要

一种清洁用于扫描光盘的近场光学扫描设备的折射元件的光学出射表面的方法，该方法包括接触步骤，包括使折射元件和清洁垫机械接触，以使得折射元件的光学出射表面不平行于清洁垫的表面，该折射元件沿着接触边缘与表面垫接触，以及第一清洁步骤，至少包括清洁垫至少沿着清洁轴相对于折射元件的相对运动，其中清洁轴处在清洁垫的平面中并且与接触边缘基本垂直。本发明还涉及能够根据所述方法清洁折射元件的近场光学扫描设备。

主权项

1.一种清洁用于扫描光盘的近场光学扫描设备的折射元件的光学出射表面的方法，该方法包括：-接触步骤，包括使折射元件和清洁垫机械接触，以使得折射元件的光学出射表面不平行于清洁垫的表面，该折射元件沿着接触边缘与表面垫接触；-第一清洁步骤，至少包括清洁垫至少沿着清洁轴相对于折射元件的相对运动，其中清洁轴处在清洁垫的平面中并且与接触边缘基本垂直。