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发明名称 A device manufacturing method using a lithographic projection mask
摘要
申请公布号 EP1431834(B1) 申请公布日期 2008.07.23
申请号 EP20030258011 申请日期 2003.12.18
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BEST, KEITH FRANK;CONSOLINI, JOSEPH J.;FRIZ, ALEXANDER
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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