高温机器人末端操作器

摘要

本发明提供一种适于在处理系统中传送衬底的高温机器人末端操作器或叶片。在一些实施方式中，末端操作器可包括具有安装端和远心端的主体，该主体由单一块的陶瓷制成。该主体可包括一对弓形唇缘，其从主体的上表面向上延伸。每个唇缘设置各个指部上，所述各个指部设置在主体远心端处。弓形内壁从主体安装端处的上表面向上延伸。内壁和唇缘限定衬底容纳袋。多个接触垫从主体的上表面向上延伸，用于支撑在其上的衬底。凹槽形成于主体的底表面中，以容纳安装夹具。

主权项

1.一种机器人末端操作器，其适于在处理系统中传送衬底，该末端操作器包含：主体，其具有相对的安装端和远心端，该主体由单一块的陶瓷制造，该主体包含：一对指部，设置在所述主体的所述远心端处；一对弓形唇缘，其从所述主体的上表面向上延伸，每个唇缘设置在各个指部上；多个接触垫，其从所述主体的所述上表面向上延伸；弓形的内壁，其从在所述主体的所述安装端的所述上表面向上延伸，所述内壁和所述唇缘限定衬底容纳袋；以及凹槽，其形成于所述主体的底表面中。