发明名称 |
发光元件及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种发光元件及其制造方法,利用该方法能够得到从可见区透过紫外区光的无色透明的导电体,该导电体可用于基板作为垂直结构,可将基板一侧作为取光面。在可控制的气体保护高温炉中设置坩埚(6),坩埚(6)中装有原料熔液(9)和具有缝隙(8a)的缝模(8),原料熔液(9)利用毛细管现象连续沿缝隙(8a)上升到熔液表面,通过缝模(8)和坩埚(6),用EFG法培养截面形状与上述缝模(8)的上面相同的单晶体,如此将原料熔液(9)制造成基板。在该基板上,用MOCVD法生长III-V族、II-VI族、或两者的薄膜。 |
申请公布号 |
CN100405618C |
申请公布日期 |
2008.07.23 |
申请号 |
CN03138280.0 |
申请日期 |
2003.05.30 |
申请人 |
株式会社光波 |
发明人 |
一之濑升;岛村清史;金子由基夫;恩卡纳西翁·安东尼娅·加西亚·比略拉;青木和夫 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01);H01L27/15(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李香兰 |
主权项 |
1.一种发光元件,其特征在于:具有β-Ga2O3单晶基板和在所述基板上形成的pn结,所述pn结由在一导电型的所述基板上形成的一导电型的GaN系化合物半导体薄膜和与在所述一导电型的GaN系化合物半导体薄膜上形成的一导电型相对的另一导电型的GaN系化合物半导体薄膜构成。 |
地址 |
日本东京都 |