发明名称 ARSENIC AND PHOSPHORUS DOPED SILICON WAFER SUBSTRATES HAVING INTRINSIC GETTERING
摘要
申请公布号 EP1945838(A2) 申请公布日期 2008.07.23
申请号 EP20060846251 申请日期 2006.11.08
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 FALSTER, ROBERT, J.;VORONKOV, VLADIMIR;BORIONETTI, GABRIELLA
分类号 C30B33/02 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
主权项
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