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发明名称 GAS DISTRIBUTION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1629522(A4) 申请公布日期 2008.07.23
申请号 EP20040753597 申请日期 2004.05.26
申请人 AVIZA TECHNOLOGY, INC. 发明人 DEDONTNEY, JAY, B.;YAO, JACK, C.
分类号 C23C16/00;C23C16/455;C23F1/00;H01L;H01L21/306 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
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