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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LEITERZUGMUSTERN AUF EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DD271984(A1) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 DD19880315520 申请日期 1988.05.09
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "ANNA SEGHERS" NEUHAUS IM VEB KOMBINAT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 UTESS,SABINE,DD;APPELFELLER,KLAUS,DD;WESCHENFELDER,DIETMAR,DD
分类号 H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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