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发明名称 MICROMACHINE AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1568655(B1) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20030774185 申请日期 2003.11.25
申请人 SONY CORPORATION 发明人 TADA, MASAHIRO;KINOSHITA, TAKASHI;MITARAI, SHUN;ITO, YASUYUKI
分类号 H03H3/007;B81B3/00;B81C1/00;H03H9/24 主分类号 H03H3/007
代理机构 代理人
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