| 发明名称 | 以恒定的最大效率自动调谐射频发生器来提高兆频超声波清洗效率 | ||
| 摘要 | 一个用于清洗基片(202)的系统及其方法，包括一个包括换能器(210)和基片(202)在内的兆频超声波室(206)。换能器(210)面向基片(202)。一个可变的距离d分隔换能器(210)和基片(202)。该系统(200)还包括一个动态可调的射频发生器(212)，其具有一个耦合到换能器的输出端。动态可调的射频发生器(212)可以通过比较振荡器输出端(306)的电压的相位和射频发生器输出端电压的相位来控制。动态可调的射频发生器(212)还可以通过监控输出信号的峰值电压和控制射频发生器而把峰值电压保持在预定的电压范围内来控制。动态可调的射频发生器(212)还可以通过动态地控制可变的直流电源电压来控制。 | ||
| 申请公布号 | CN100401479C | 申请公布日期 | 2008.07.09 |
| 申请号 | CN200380110213.X | 申请日期 | 2003.12.23 |
| 申请人 | 兰姆研究有限公司 | 发明人 | J·柏伊;A·库提;W·尤;M·G·R·史密斯;R·诺普;T·W·安德森 |
| 分类号 | H01L21/302(2006.01) | 主分类号 | H01L21/302(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 李亚非;梁永 |
| 主权项 | 1.一个动态地把射频发生器调节到换能器的即时共振频率的方法，包括：把来自于振荡器的射频输入信号输入射频发生器；测量射频输入信号的输入电压的第一相位；测量从射频发生器输出并被耦合到换能器输入端的射频信号的电压第二相位；当第一相位不等于第二相位时产生一个频率控制信号；和把频率控制信号施加到振荡器的频率控制输入端，其中包括组合频率控制信号与设定值控制信号。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||