电子级红磷的生产工艺

摘要

本发明是一种电子级红磷的生产工艺，将分析纯三氯化磷进行蒸馏、精馏后，得到高纯的三氯化磷，用高纯氢作还原剂通入到盛有三氯化磷的石英扩散炉中，并在加热状况下进行还原，用热水吸收磷蒸汽，收集黄磷并经过滤洗涤处理，得到高纯黄磷。再将黄磷放入特制的转化锅中，加温并加入惰性气体保护，得电子级红磷产品，本发明工艺简单，质量稳定，生产产品能完全满足半导体工业的质量要求。

主权项

1.一种电子级红磷的生产工艺，其特征在于本发明工艺步骤依次为：(1)高纯三氯化磷的制备：将分析纯三氯化磷进行蒸馏，然后取蒸馏品进行精馏后，得到高纯三氯化磷；(2)高纯电子级黄磷的制备：在惰性气体保护情况下，用高纯氢还原剂通入到盛有高纯三氯化磷的扩散炉中，并以氢气为载体，将高纯三氯化磷载入还原炉中，并在800～950℃加热状况下进行还原，用50-65℃的纯水喷淋回收还原产生的磷蒸汽，收集黄磷并用50～65℃热水洗涤得白色或浅黄半透明液体的黄磷，再经过滤洗涤后冷却得到高纯电子级黄磷；(3)将高纯电子级黄磷转化为高纯电子级红磷：将高纯电子级黄磷放入转化锅中，在加温过程中加入惰性气体5-10千克，逐步升温至300℃后降到常温，得到高纯电子级红磷产品。