发明名称 氧化钇烧结体和耐腐蚀性部件、其制造方法
摘要 本发明提供一种高密度且耐等离子体性优异的氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)烧结体。氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)烧结体构成如下:作为该烧结体的构成晶体,含有氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)晶体和Y<SUB>3</SUB>BO<SUB>6</SUB>晶体。为了获得该氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)烧结体,在氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)粉末中,以换算成氧化硼(B<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)为0.02wt以上且不足10wt%的比例添加硼化合物,对该混合粉末进行成型后,在1300℃以上且不足1600℃下使其烧结。
申请公布号 CN101218188A 申请公布日期 2008.07.09
申请号 CN200680024762.9 申请日期 2006.07.13
申请人 TOTO株式会社 发明人 井出贵之;清原正胜
分类号 C04B35/50(2006.01) 主分类号 C04B35/50(2006.01)
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 1.一种氧化钇烧结体,其特征在于,其是在氧化钇(Y2O3)粉末中添加硼化合物进行烧成而成的氧化钇烧结体,在该氧化钇烧结体中,硼(B)基本上以Y3BO6的形式存在。
地址 日本福冈县