发明名称 | 氧化钇烧结体和耐腐蚀性部件、其制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种高密度且耐等离子体性优异的氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)烧结体。氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)烧结体构成如下:作为该烧结体的构成晶体,含有氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)晶体和Y<SUB>3</SUB>BO<SUB>6</SUB>晶体。为了获得该氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)烧结体,在氧化钇(Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)粉末中,以换算成氧化硼(B<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)为0.02wt以上且不足10wt%的比例添加硼化合物,对该混合粉末进行成型后,在1300℃以上且不足1600℃下使其烧结。 | ||
申请公布号 | CN101218188A | 申请公布日期 | 2008.07.09 |
申请号 | CN200680024762.9 | 申请日期 | 2006.07.13 |
申请人 | TOTO株式会社 | 发明人 | 井出贵之;清原正胜 |
分类号 | C04B35/50(2006.01) | 主分类号 | C04B35/50(2006.01) |
代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
主权项 | 1.一种氧化钇烧结体,其特征在于,其是在氧化钇(Y2O3)粉末中添加硼化合物进行烧成而成的氧化钇烧结体,在该氧化钇烧结体中,硼(B)基本上以Y3BO6的形式存在。 | ||
地址 | 日本福冈县 |