集成式可编程晶体生长控制装置

摘要

本实用新型提供了一种集成式可编程晶体生长控制装置，包括温度传感器、微处理器、加热器、籽晶杆转动步进电机、晶体提拉步进电机和称重传感器；温度传感器通过其前置放大器、称重传感器通过称重传感器放大器分别与双路信号切换开关连接，双路信号切换开关、A/D转换器与微处理器互相连接；加热器至少分两路，每路都与微处理器连接，籽晶杆转动步进电机和晶体提拉步进电机通过各自驱动器与微处理器连接。本实用新型集温度控制、电机速度控制于一体，通过编程能够精确地控制温度升降速率、电机转向、转速及转动时间，并能够通过称量晶体重量确认晶体生长情况，可实时对晶体生长过程中的温度、速度和转向进行控制，保证了晶体生长质量。

主权项

1.一种集成式可编程晶体生长控制装置，其特征在于：包括温度传感器、双路信号切换开关、A/D转换器、微处理器、加热器、籽晶杆转动步进电机驱动器、晶体提拉步进电机驱动器、称重传感器和称重传感器放大电路；温度传感器通过前置放大器和双路信号切换开关与A/D转换器连接；称重传感器通过称重传感器放大电路和双路信号切换开关也与A/D转换器连接；A/D转换器与微处理器连接；至少有两路加热器，每路都是通过晶闸管开关和晶闸管触发驱动器与微处理器连接；籽晶杆转动步进电机通过斩波恒流步进电机细分驱动器与微处理器连接，晶体提拉步进电机的驱动器直接与微处理器连接。