发明名称 METHOD AND STRUCTURE FOR FORMING STRAINED Si FOR CMOS DEVICES
摘要
申请公布号 EP1680804(A4) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20040810466 申请日期 2004.11.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/10;H01L29/78 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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