| 发明名称 |
ANTI-REFLECTIVE COATINGS |
| 摘要 |
<p>Novel self-crosslinking polymers are provided which are useful in antireflective coatings to reduce outgassing.</p> |
| 申请公布号 |
KR20080063762(A) |
申请公布日期 |
2008.07.07 |
| 申请号 |
KR20087007898 |
申请日期 |
2006.10.26 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. |
发明人 |
ABDALLAH DAVID J.;YIN JIAN;NEISSER MARK O. |
| 分类号 |
C08F8/30;C08J3/24;G03F7/09;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F8/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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