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发明名称 Zweistufiges System zur Reduktion der Energieverteilung eines Teilchenstrahls für ein Teilchenstrahlsystem
摘要
申请公布号 DE60321174(D1) 申请公布日期 2008.07.03
申请号 DE20036021174 申请日期 2003.12.16
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FROSIEN, JUERGEN DR.;DEGENHARDT, RALF;LANIO, STEFAN DR.
分类号 H01J37/153;H01J37/05;H01J37/28;H01J49/28;H01J49/48 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
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