发明名称 |
图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种图像传感器及其制造方法的实施例。图像传感器包括:形成在包括光电二极管的衬底上的层间介电层;形成在层间介电层上的滤色层;形成在滤色层上的第一氧化物膜微透镜;和形成在第一氧化物膜微透镜上的第二氧化物膜微透镜。本发明可以使用普通的光致抗蚀剂,而不是专门用于微透镜的光致抗蚀剂来形成微透镜。可以降低制造成本。可以通过减小微透镜间的间隙而减少色度亮度干扰。 |
申请公布号 |
CN101211937A |
申请公布日期 |
2008.07.02 |
申请号 |
CN200710161862.2 |
申请日期 |
2007.09.24 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
赵殷相 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01);H01L21/71(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郑小军 |
主权项 |
1.一种图像传感器,包括:多个第一氧化物膜微透镜,形成在衬底上;以及第二氧化物膜微透镜,形成在每个第一氧化物膜微透镜上,其中该第二氧化物膜微透镜以间隔件形式形成在每个第一氧化物膜微透镜的侧面。 |
地址 |
韩国首尔 |