溶液涂敷装置和涂敷方法

摘要

本发明提供一种溶液涂敷装置，其以预定的涂敷图形在沿预定方向搬运的基板上涂敷溶液，该溶液涂敷装置包括：喷头(9)，具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴(16)；驱动部(20)，从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液；控制装置(21)，存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据，根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动，使溶液从上述喷嘴向基板喷出。

主权项

1.一种溶液涂敷装置，其特征在于，在沿预定方向搬运的基板上，按照预定的涂敷图形涂敷溶液，其特征在于，包括：喷头，具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴；驱动部，从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液；以及控制装置，存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据，根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动，使溶液从上述喷嘴向基板喷出，上述控制装置利用上述驱动部，使从喷出溶液量多的喷嘴喷出的次数减少。