基于焦平面成像法的发射模块间同轴度测量方法

摘要

基于焦平面成像法的发射模块间同轴度测量方法，本发明涉及测量领域，它解决了不同波段的光束，不能使用同一探测器对出射光束进行探测，更换时要求可对模块间出射的同轴度进行精确测量的问题。步骤如下：首先对800nm波段激光发射模块输出光成像光斑坐标为(x₁，y₁)；其次安装小孔光阑并记录小孔中心位置坐标为(x₂，y₂)；之后1550nm波段CCD探测器定位，并记录小孔中心位置坐标为(x₃，y₃)；接下来对1550nm波段激光发射模块输出光成像进行坐标记录为(x₄，y₄)；最终得出方向角度偏差和俯仰角度偏差分别为α＝[(x₁－x₂)－(x₄－x₃)]/F，β＝[(y₁－y₂)－(y₄－y₃)]/F。利用长焦平行光管、不同波段带显微镜头的CCD探测器等器件，基于焦平面成像法可将测量精度提高到0.5μrad以上。

主权项

1.基于焦平面成像法的发射模块间同轴度测量方法，其特征在于它的步骤如下：步骤一：对800nm波段激光发射模块(6)输出光成像：首先安装800nm波段激光发射模块(6)于机械承载平台(4)上，并通过望远镜系统(5)发出激光光束，激光光束经过长焦平行光管(1)聚焦，在成像屏(3)上成点像，带有显微镜头的800nm波段CCD探测器(2)对成像点位置进行记录，坐标为(x1，y1)；步骤二：安装小孔光阑：关闭激光发射系统，将显微镜头前的成像屏(3)移除，替换具有小孔的遮光板(7)，再由带有显微镜头的800nm波段CCD探测器(2)准确探测小孔中心位置，记录其坐标为(x2，y2)；步骤三：1550nm波段CCD探测器(8)定位：将带有显微镜头的800nm波段CCD探测器(2)移除，更换带有同样显微镜头的1550nm波段CCD探测器(8)，由带有显微镜头的1550nm波段CCD探测器(8)准确探测小孔中心位置，记录其坐标为(x3，y3)；步骤四：对1550nm波段激光发射模块(9)输出光成像：安装1550nm波段激光发射模块(9)于机械承载平台(4)上，并通过望远镜系统(5)发出激光光束，激光光束经过长焦平行光管(1)聚焦，在替换遮光板(7)的成像屏(3)上成点像，通过带有显微镜头的1550nm波段CCD探测器(8)对成像点位置进行记录，坐标为(x4，y4)；步骤五：得出方向角度偏差和俯仰角度偏差：800nm波段激光发射模块(6)和1550nm波段激光发射模块(9)之间沿方位轴方向角度偏差α、俯仰角度偏差β分别为：α＝[(x1-x2)-(x4-x3)]/F，β＝[(y1-y2)-(y4-y3)]/F其中F为长焦平行光管(1)的焦距。